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單晶硅壓力變送器的工作原理是?

來源:上潤精密儀器上海有限公司作者:上潤精密儀器上海有限公司

傳感器模塊采用全焊接技術,內部擁有一個整體化的過載膜片,一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償的參考值。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連,傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連,壓力通過隔離膜片和填充液,傳遞給傳感器內的硅芯片,使壓力傳感器的芯片的阻值發生變化,從而導致檢測系統輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比,再由適配單元和放大器轉化成一標準化信號輸出。單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理。壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構成。

采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。想了解更多相關信息,可以咨詢上潤精密儀器上海有限公司,謝謝!

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